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在選取加熱元件時也要根據(jù)自己所需處理產(chǎn)品的化學(xué)功用，以免加熱元件的原料影響到工件的質(zhì)量。因而，真空爐要合理的選取加熱元件。

真空爐按加熱元件分為真空電阻爐﹑真空感應(yīng)爐﹑真空電弧爐﹑真空自耗電弧爐﹑電子束爐(又稱電子轟擊爐)和等離子爐等。

真空爐熱處理工藝一般包括加熱、保溫、冷卻三個過程，有時只要加熱和冷卻兩個過程。這些過程相互聯(lián)接，不行間斷。

因為真空爐的種類和型式許多，因此維護(hù)和檢修的項目各不相同，修理查看內(nèi)容應(yīng)依據(jù)爐子技能文件并可按實際需要分為每爐次、每日、每月，每半年和每一年進(jìn)行的項目。

真空燒結(jié)爐首要用于半導(dǎo)體元器材及電力整流器材的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體維護(hù)燒結(jié)及慣例燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝配備，它規(guī)劃構(gòu)思新穎，操作便利，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。下面，小編就為您介紹真空燒結(jié)爐的應(yīng)急辦法。

　真空爐一般由主機(jī)、爐膛、電熱設(shè)備、密封爐殼、真空體系、供電體系、控溫體系和爐外運(yùn)輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用處,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動澆注設(shè)備和裝卸料的機(jī)械手等。真空體系主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。

對真空爐進(jìn)行修理后，要進(jìn)行烘爐、有必要對真空爐進(jìn)行真空檢漏。真空爐烘爐前，可用1000V搖表檢測真空爐的絕緣，正常不小于2MΩ。