首要用于陶瓷燒成、真空鍛煉、真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。
真空爐一般由主機、爐膛、電熱設備、密封爐殼、真空體系、供電體系、控溫體系等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封資料密封。為避免爐殼受熱后變形和密封資料受熱變質，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。依據爐子用途,爐膛內部裝有不同類型的加熱元件，如硅碳棒、硅鉬棒、金屬鉬、石墨板等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝，有的還裝有自動澆注設備和裝卸料的機械手等。真空體系首要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。
真空淬火(回火、退火)便是通過把資料或零件在真空狀態(tài)下按工藝規(guī)程加熱、冷卻來達到預期性能的一種處理辦法。真空釬焊即在真空狀態(tài)下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點溫度以上，但低于基體金屬熔點溫度，借助于填充金屬對基體金屬的濕潤和活動構成焊縫的一種焊接工藝(釬焊溫度因資料不同而異)。真空燒結即在真空狀態(tài)下，把金屬粉末制品加熱，使相鄰金屬粉末晶粒通過粘著和擴散作用而燒結成零件的一種辦法。真空加磁首要適用于金屬資料加磁處理。