1、真空爐液壓體系噪聲不正常，油泵吸油管道或濾油器堵塞，清洗吸油管道或濾油器。
2、真空爐處理鈦合金，不宜用氮氣作為冷卻氣體，由于鈦和氮在高溫下反應，形成了金黃色氮化鈦。
3、真空爐液壓體系的壓力不穩(wěn)定，溢流閥有臟物或損壞，清洗或檢修溢流閥。
4、液壓體系壓力低，油缸或油馬達有較大泄漏，檢查更換油缸或油馬達的密封設備。
5、真空閥門失控，壓縮空氣壓力不行，保證壓縮空氣壓力>0.5MPa。
6、油淬零件外表不亮，零件入油前溫度太高，入油前零件溫度不大于900oC。
7、氣淬零件外表不亮，冷卻氮氣純度不行，保證氮氣純度（體積分數）在99.99%以上。
8、油泵不排油，泵軸旋轉方向不對，倒換油泵電機的電源接頭。
9、油缸或油馬達滾動有抖動，體系中有空氣，將體系中空氣掃除。
10、作業(yè)真空狀態(tài)下淬火，應運用真空淬火油，此油具有較低的飽滿蒸氣壓。
11、真空爐活動銜接部分全部采用o型橡膠圈密封銜接，此部分均通水冷卻。
12、真空爐的保養(yǎng)應在真空或充純氮狀態(tài)下，避免平常不用時吸氣、吸潮。
13、真空加熱輻射為主，工件在爐內應該保持距離。
14、升溫過程中,工件及爐內資料會放氣,使真空度下降。
15、真空回火爐應該具有快冷設備.冷卻水的壓力應該大于0.2Mpa,流量可調。
16、升溫：放入工件后，一般先預抽至6.6Pa時方可升溫加熱。
