真空感應(yīng)爐是鑄造、變形及粉末高溫合金熔煉運用的關(guān)鍵設(shè)備。其工作原理是在真空環(huán)境下利用電磁感應(yīng)在金屬料中產(chǎn)生渦流熱使其熔化，然后經(jīng)過電磁拌和生成精確操控成分的合金。熔煉過程中發(fā)生真空氣（O、N、H）、低熔點有害元素?fù)]發(fā)、分解與浮選等物理化學(xué)反應(yīng)。現(xiàn)在，真空感應(yīng)熔煉爐能夠熔煉Fe、Ni與Co基高溫合金等高質(zhì)量資料。
而且與電渣爐、自耗爐相比，真空感應(yīng)熔煉爐的杰出優(yōu)點可概括為6點：
①非常精準(zhǔn)的合金成分誤差操控；
②真空環(huán)境避免了空氣污染和因氧化造成的合金元素?zé)龘p；
③去除低熔點的有害微量元素；
④下降溶解氣體含量；
⑤中頻電磁感應(yīng)拌和使合金熔更均勻，下降元素偏析；
⑥重熔收回并凈化高溫合金返回料?？墒?，真空感應(yīng)熔煉爐也有一些缺陷，包括高溫下合金熔體與耐火資料坩堝的反應(yīng)、難于脫硫（S）、夾雜物含量較高、制備的鑄錠內(nèi)部縮孔大且元素偏析嚴(yán)峻等。
自1916年德國人Wilhelm Rohn成功采用自己設(shè)計的小型真空感應(yīng)爐熔煉出金屬后，現(xiàn)在技術(shù)水平已經(jīng)能夠生產(chǎn)容量從1Kg（乃至幾十克）至60T（乃至更大）的真空感應(yīng)爐設(shè)備。1923年德國采用4噸容量的真空感應(yīng)爐制備Ni、Co高溫合金，開端了VIM爐的工業(yè)化應(yīng)用。我國于1956年進口了兩臺10Kg級真空感應(yīng)熔煉爐，開端展開高溫合金的研討?，F(xiàn)在國內(nèi)高溫合金專業(yè)化冶金廠及相關(guān)企業(yè)在用的各種容量真空感應(yīng)熔 Mater煉爐有近千臺。
真空感應(yīng)熔煉制備的高溫合金鑄錠主要用做二次重熔的電極棒和母合金錠，經(jīng)過熔煉進一步制備成棒材、鑄錠乃至高溫合金粉末。近年，在傳統(tǒng)真空感應(yīng)熔煉（Vacuum Induction Melting，VIM）爐基礎(chǔ)上，國外又研制出真空感應(yīng)脫氣與澆注（Vacuum Induction Degassing and Pouring，VIDP）爐（圖3）。認(rèn)為VIDP爐設(shè)備的模塊化設(shè)計更緊湊，維護更方便，功率更高，生產(chǎn)成本更低等，一起VIDP爐與其他澆注體系（如連鑄體系）組合，能夠擴展其功用，實現(xiàn)“一機多用”。可是VIDP爐的流槽比較長，對熔煉一些牌號的高溫合金是否適用，還需要進一步的工程驗證。